PM2.5检测装置及其制造方法 | |
毛海央![]() ![]() | |
2015-09-23 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
专利号 | CN201310400323.5 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明涉及一种PM2.5检测装置及其制造方法,其包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构,所述颗粒分离机构的出口端与PM2.5检测机构的入口端连接,所述PM2.5检测机构包括检测腔体,所述检测腔体的外侧设置检测光源及光探测器,检测光源发出的光线通过检测腔体上的光入射窗口进入检测腔体内,光探测器通过检测腔体上的光出射窗口接收检测腔体内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线,所述光探测器根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。本发明与常规MEMS工艺相兼容,工艺简单方便,可提高PM2.5检测的精度及有效性,小型化的结构使其具有便携性和实时检测的特点,适应范围广,安全可靠。 |
公开日期 | 2013-12-18 |
申请日期 | 2013-09-05 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/15334] ![]() |
专题 | 微电子研究所_智能感知研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 毛海央,谌灼杰,欧文,等. PM2.5检测装置及其制造方法. CN201310400323.5. 2015-09-23. |
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