PM2.5检测装置及其制造方法
毛海央; 谌灼杰; 欧文; 吴文刚
2015-09-23
著作权人中国科学院微电子研究所
专利号CN201310400323.5
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明涉及一种PM2.5检测装置及其制造方法,其包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构,所述颗粒分离机构的出口端与PM2.5检测机构的入口端连接,所述PM2.5检测机构包括检测腔体,所述检测腔体的外侧设置检测光源及光探测器,检测光源发出的光线通过检测腔体上的光入射窗口进入检测腔体内,光探测器通过检测腔体上的光出射窗口接收检测腔体内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线,所述光探测器根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。本发明与常规MEMS工艺相兼容,工艺简单方便,可提高PM2.5检测的精度及有效性,小型化的结构使其具有便携性和实时检测的特点,适应范围广,安全可靠。

公开日期2013-12-18
申请日期2013-09-05
语种中文
内容类型专利
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/15334]  
专题微电子研究所_智能感知研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
毛海央,谌灼杰,欧文,等. PM2.5检测装置及其制造方法. CN201310400323.5. 2015-09-23.
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