Modification of Al2O3/InP interfaces using sulfur and nitrogen passivations
Wang SK(王盛凯); Liu HG(刘洪刚); Su YY(苏玉玉); Chang HD(常虎东); Cao MM(曹明民); Sun B(孙兵)
刊名J. Appl. Phys.
2017-05-14
文献子类期刊论文
内容类型期刊论文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/17996]  
专题微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
Wang SK,Liu HG,Su YY,et al. Modification of Al2O3/InP interfaces using sulfur and nitrogen passivations[J]. J. Appl. Phys.,2017.
APA 王盛凯,刘洪刚,苏玉玉,常虎东,曹明民,&孙兵.(2017).Modification of Al2O3/InP interfaces using sulfur and nitrogen passivations.J. Appl. Phys..
MLA 王盛凯,et al."Modification of Al2O3/InP interfaces using sulfur and nitrogen passivations".J. Appl. Phys. (2017).
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