一种叉指型背接触式太阳能电池及其制备方法

	一种叉指型背接触式太阳能电池及其制备方法
	武德起; 贾锐; 陈晨; 孟彦龙; 刘新宇; 叶甜春
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201110135224.X
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明是基于离子注入在N型衬底上实现背接触太阳能电池的一种制备方法。主要工艺流程包括：1、硅片清洗制绒；2、氧化；3、正面注入磷；4、背面丝网印刷铝浆；5、背面注入磷，形成叉指状p、n区域；6、烧结激活掺杂，同时形成铝-p+发射极；7、沉积氮化硅等钝化层；8、丝网印刷银/铝浆叉指状电极并烧结。除离子注入外，该方法制备背接触太阳能电池都能在现有常规P型太阳能电池生产线上完成，能够和现有工艺结合，容易实现产业化转化。本方法能够明显提高太阳能电池的转换效率，因此可以在对现有工艺改动不大的前提下达到降低发电成本的目的。
公开日期	2012-11-28
申请日期	2011-05-24
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/9863]
专题	微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	武德起,贾锐,陈晨,等. 一种叉指型背接触式太阳能电池及其制备方法. CN201110135224.X.