题名非晶铟镓锌氧化物半导体薄膜晶体管接触电阻测量与物理机制研究
作者韩志恒
答辩日期2017-05
文献子类硕士
授予单位中国科学院大学
导师李泠
学位专业电子与通信工程
内容类型学位论文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/16797]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
韩志恒. 非晶铟镓锌氧化物半导体薄膜晶体管接触电阻测量与物理机制研究[D]. 中国科学院大学. 2017.
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