题名 | 非晶铟镓锌氧化物半导体薄膜晶体管接触电阻测量与物理机制研究 |
作者 | 韩志恒 |
答辩日期 | 2017-05 |
文献子类 | 硕士 |
授予单位 | 中国科学院大学 |
导师 | 李泠 |
学位专业 | 电子与通信工程 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16797] ![]() |
专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩志恒. 非晶铟镓锌氧化物半导体薄膜晶体管接触电阻测量与物理机制研究[D]. 中国科学院大学. 2017. |
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