聚苯胺—多壁碳纳米管薄膜SAW NO2传感器
陈军宁; 周文; 闫学锋; 侯成诚; 李冬梅; 刘明
刊名传感器与微系统
2011-09-01
英文摘要

将聚苯胺—多壁碳纳米管聚合物沉积于声表面波(SAW)气体传感器的敏感区,形成敏感薄膜,实现了室温下对不同体积分数NO2的检测。研究表明:这种传感器具有很高的敏感性,良好的重复性和低体积分数检测极限。同时,单一聚苯胺薄膜也做了对比测量,实验结果表明:聚苯胺—多壁碳纳米管聚合物敏感膜比单一聚苯胺薄膜具有更高的敏感性和更短的恢复时间。

语种中文
公开日期2015-09-23
内容类型期刊论文
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/13564]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
陈军宁,周文,闫学锋,等. 聚苯胺—多壁碳纳米管薄膜SAW NO2传感器[J]. 传感器与微系统,2011.
APA 陈军宁,周文,闫学锋,侯成诚,李冬梅,&刘明.(2011).聚苯胺—多壁碳纳米管薄膜SAW NO2传感器.传感器与微系统.
MLA 陈军宁,et al."聚苯胺—多壁碳纳米管薄膜SAW NO2传感器".传感器与微系统 (2011).
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