Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements

	Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements
	Xie CQ(谢常青); Zhu XL(朱效立); Li HL(李海亮); Niu JB(牛洁斌); Gao N(高南); Hua YL(华一磊); Shi LN(史丽娜); Liu M(刘明); Zhang MH(张满红)
刊名	SPIE Newsroom
	2014-04-22
公开日期	2015-04-15
内容类型	期刊论文
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/12518]
专题	微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
通讯作者	Zhang MH(张满红)
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	Xie CQ,Zhu XL,Li HL,et al. Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements[J]. SPIE Newsroom,2014.
APA	Xie CQ.,Zhu XL.,Li HL.,Niu JB.,Gao N.,...&Zhang MH.(2014).Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements.SPIE Newsroom.
MLA	Xie CQ,et al."Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements".SPIE Newsroom (2014).