一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法

	一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法
	侯诚诚; 谢常青; 闫学锋; 周文; 刘明; 汪幸; 李冬梅
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201110198635.3
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法，用于检测NO2气体，该方法包括：对氧化锌进行进行研磨；将研磨后的氧化锌掺杂酞菁靶，并制成混合溶液；对该混合溶液进行超声振荡；在双延迟线型振荡器的一条延迟线的敏感区域滴涂该混合溶液；真空干燥，形成氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜。本发明提供的采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法，通过将PbPc作为敏感材料去尝试制作敏感膜，使得常温下使用酞菁材料去检测NO2气体变为可能，而且PbPc/ZnO传感器与纯的PbPc传感器相比，灵敏度和选择性也会有一定的提高。
公开日期	2013-01-16
申请日期	2011-07-15
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/10395]
专题	微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	侯诚诚,谢常青,闫学锋,等. 一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法. CN201110198635.3.