一种制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法

	一种制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法
	侯成诚; 李冬梅; 汪幸; 刘明; 谢常青; 闫学锋; 周文
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201110157002.8
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法，该方法是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上滴涂二氧化锡与酞菁锌混合溶液，并真空烘干形成二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜。本发明通过将酞菁锌作为敏感材料去尝试制作敏感膜，使得常温下使用酞菁材料去检测NO2气体变为可能，而且具有该二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的传感器与单纯酞菁锌敏感膜的传感器相比，检测低浓度NO2气体时在选择性、灵敏度和检测质量均有大幅的提高。
公开日期	2012-12-12
申请日期	2011-06-10
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/10369]
专题	微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	侯成诚,李冬梅,汪幸,等. 一种制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法. CN201110157002.8.