| 亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究 | |
陈宝钦 ; 刘明; 韩郑生; 钱鹤; 徐秋霞; 叶甜春
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| 2005 | |
| 文献子类 | 国家科学技术发明奖 |
| 奖励等级 | 二等奖 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18466]  |
| 专题 | 微电子研究所_硅器件与集成研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈宝钦,刘明,韩郑生,等. 亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究. . 2005. |
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