一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关 | |
叶甜春![]() ![]() ![]() ![]() | |
2011-06-01 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
专利号 | CN200710064876.2 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明涉及射频微机电系统技术领域,公开了一种双稳态单晶硅梁射 频微机电系统开关,该射频微机电系统开关包括电磁驱动部分和悬臂梁可 动部分,电磁驱动部分和悬臂梁可动部分采用对准键合方式结合在一起; 电磁驱动部分具有铁心铁壳和永磁体,通过在平面线圈加电流产生的磁场 与永磁体的磁场相叠加来改变整体磁场的方向,从而使悬臂梁可动部分动 作,实现触点通断。利用本发明,该射频微机电系统开关工作电压比较低, 驱动力大,工作次数高,功耗比较低,接触电阻小隔离度高,控制电路简 单,适用于较大功率射频通讯电路。 |
公开日期 | 2008-10-01 |
申请日期 | 2007-03-28 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8014] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶甜春,李全宝,景玉鹏,等. 一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关. CN200710064876.2. 2011-06-01. |
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