一种微尖端阵列器件及其制作方法

	一种微尖端阵列器件及其制作方法
	傅剑宇; 陈大鹏; 叶甜春; 欧毅; 景玉鹏
	2011-07-20
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN200710176936.X
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及微电子技术中的深亚微米、纳米加工技术领域，公开了一种微尖端阵列器件，该器件由微尖端阵列、COMS控制电路单元和连接柱构成；微尖端阵列包括多个微尖端，每个微尖端通过一个连接柱与COMS 控制电路单元进行机械和电学连接；COMS控制电路单元用于控制微尖端阵列中微尖端进行独立工作；连接柱用于实现微尖端阵列中微尖端与 CMOS控制单元的机械和电学连接。本发明同时公开了一种微尖端阵列器件的制作方法。利用本发明，通过CMOS电路控制金属尖端场致发射电子束，实现了高分辨率纳米级图形加工和高密度数据存储，并通过微尖端阵列化解决了单探针工作效率低的问题。
公开日期	2009-05-13
申请日期	2007-11-07
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/7802]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	傅剑宇,陈大鹏,叶甜春,等. 一种微尖端阵列器件及其制作方法. CN200710176936.X. 2011-07-20.