二元过渡族金属氧化物非挥发电阻转变型存储器 | |
管伟华; 刘琦![]() ![]() ![]() ![]() | |
2010-06-16 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
专利号 | CN200710304220.3 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明公开了一种基于离子注入的二元过渡族金属氧化物非挥发 电阻转变型存储器,该存储器包括:一上导电电极;一下导电电极; 一位于该上导电电极与下导电电极之间的二元过渡族金属氧化物薄 膜,该二元过渡族金属氧化物薄膜中注入有离子。本发明在二元过渡 族金属氧化物中注入离子,可以极大地提高器件的产率,增加器件高、 低阻态之间的比值,减小各个器件之间电阻转变特性的离散值。本发 明的存储器器件具有结构简单,易集成,成本低,与传统的硅平面 CMOS工艺兼容等优点,有利于本发明的广泛推广和应用。 |
公开日期 | 2009-07-01 |
申请日期 | 2007-12-26 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/7632] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 管伟华,刘琦,刘明,等. 二元过渡族金属氧化物非挥发电阻转变型存储器. CN200710304220.3. 2010-06-16. |
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