适用于氮化镓器件的钛/铝/钛/铂/金欧姆接触系统

	适用于氮化镓器件的钛/铝/钛/铂/金欧姆接触系统
	刘健; 魏珂; 和致经; 刘新宇; 吴德馨
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN200410058036.1
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件的欧姆接触Ti/Al/Ti/Pt/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触Ti/Al/Ti/Pt/Au，具有很大的工艺宽容度，可以在较低780℃的情况，获得满意的欧姆接触特性，并得到理想的合金形貌，降低了器件研制的难度。这一技术对于掺杂和非掺杂样品同样适用。
公开日期	2006-02-15
申请日期	2004-08-09
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/7372]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘健,魏珂,和致经,等. 适用于氮化镓器件的钛/铝/钛/铂/金欧姆接触系统. CN200410058036.1.