适用于氮化镓器件的钛/铝/钛/铂/金欧姆接触系统 | |
刘健; 魏珂![]() ![]() ![]() | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
专利号 | CN200410058036.1 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明涉及半导体技术领域,特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器 件的欧姆接触Ti/Al/Ti/Pt/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触Ti/Al/Ti/Pt/Au, 具有很大的工艺宽容度,可以在较低780℃的情况,获得满意的欧姆接触 特性,并得到理想的合金形貌,降低了器件研制的难度。这一技术对于掺 杂和非掺杂样品同样适用。 |
公开日期 | 2006-02-15 |
申请日期 | 2004-08-09 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/7372] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘健,魏珂,和致经,等. 适用于氮化镓器件的钛/铝/钛/铂/金欧姆接触系统. CN200410058036.1. |
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