常压射频低温冷等离子体放电通道装置 | |
王守国 | |
2004-03-18 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
专利号 | CN2682773 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
英文摘要 | 本实用新型公开一种常压射频低温冷等离子体放电通道装置,包括供气源,放电通道主体和射频电源,放电通道主体包括倒U形的外壳,其内部顶表面上设置有顶面绝缘体,两个内部侧表面上分别设置有侧面绝缘体;设置在顶面绝缘体的下表面上,位于两个侧面绝缘体之间并与射频电源相连的第一平板电极;及第二平板电极,其与外壳的开口端相连,与第一平板电极相对且平行,第二平板电极与第一电极相互绝缘,第二电极的中部设置有通孔,第一和第二平板电极及两个侧面绝缘体围成一个四周封闭、两端开口、横截面为长方形的长方体状的放电通道,供气源通过导管和通孔与放电通道连通。本实用新型等离子体放电装置,能够以较低击穿电压产生均匀大面积的等离子体。 |
公开日期 | 2005-03-02 ; 2010-11-26 |
语种 | 中文 |
状态 | 公开 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/7238] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王守国. 常压射频低温冷等离子体放电通道装置. CN2682773. 2004-03-18. |
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