电磁驱动RFMEMS开关的研究状况

	电磁驱动RFMEMS开关的研究状况
	陈大鹏; 李全宝; 景玉鹏; 刘茂哲; 欧毅; 马瑾; 叶甜春
刊名	电子工业专用设备
	2007
卷号	36 期号:1 页码:4,18_20,30
关键词	Rf Mems技术 Rf Mems开关电磁驱动工作电压驱动力
ISSN号	1004-4507
英文摘要	RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力，作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RF MEMS开关具有工作电压比较低．驱动力大，可以工作在恶劣的环境等优点，使其成为近年来RF MEMS开关研究的一个热点。
语种	中文
公开日期	2010-05-26
内容类型	期刊论文
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/1692]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	陈大鹏,李全宝,景玉鹏,等. 电磁驱动RFMEMS开关的研究状况[J]. 电子工业专用设备,2007,36(1):4,18_20,30.
APA	陈大鹏.,李全宝.,景玉鹏.,刘茂哲.,欧毅.,...&叶甜春.(2007).电磁驱动RFMEMS开关的研究状况.电子工业专用设备,36(1),4,18_20,30.
MLA	陈大鹏,et al."电磁驱动RFMEMS开关的研究状况".电子工业专用设备 36.1(2007):4,18_20,30.