反应离子刻蚀铝中nMOS器件的等离子充电损伤

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	反应离子刻蚀铝中nMOS器件的等离子充电损伤
	李俊峰; 杨建军; 钟兴华; 海潮和
刊名	电子工业专用设备
	2005
卷号	34 期号:4 页码:6，43-47,64
关键词	等离子充电损伤栅隧穿漏电流阈值vt漂移亚阈值特性天线比（ar）
ISSN号	1004-4507
英文摘要	介绍在等离子工艺中的等离子充电损伤，并且利用相应的反应离子刻蚀(RIE)Al的工艺试验来研究在nMOSFET器件中的性能退化。通过分析天线比(AR)从100：1到10000：1的nMOSFET器件的栅隧穿漏电流，阅值K漂移。亚阅值特性来研究由Al刻蚀工艺导致的损伤。试验结果表明在阈值K漂移中没有发现与天线尺寸相关的损伤，而在栅隧穿漏电流和低源漏电场下亚阈值特性中发现了不同天线比的nMOS器件有相应的等离子充电损伤。在现有的理解上对在RIE Al中nMOS器件等离子充电损伤进行了讨论，并且基于这次试验结果对减小等离子损伤提出了一些建议。
语种	中文
公开日期	2010-05-26
内容类型	期刊论文
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/1234]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
推荐引用方式 GB/T 7714	李俊峰,杨建军,钟兴华,等. 反应离子刻蚀铝中nMOS器件的等离子充电损伤[J]. 电子工业专用设备,2005,34(4):6，43-47,64.
APA	李俊峰,杨建军,钟兴华,&海潮和.(2005).反应离子刻蚀铝中nMOS器件的等离子充电损伤.电子工业专用设备,34(4),6，43-47,64.
MLA	李俊峰,et al."反应离子刻蚀铝中nMOS器件的等离子充电损伤".电子工业专用设备 34.4(2005):6，43-47,64.