钛升华泵灯丝的除气工艺

	钛升华泵灯丝的除气工艺
	蒙峻; 杨晓天; 张军辉; 张喜平; 胡振军; 侯生军; 郝斌干
	2007-02-28
著作权人	中国科学院近代物理研究所
专利号	CN1920302A
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及钛升华泵在正常工作前，对钛丝进行的预处理方法。本发明的方法是在钛升华泵正常工作前，先给钛丝加除气电流，所加的除气电流在钛丝额定升华电流的二分之一至钛丝达临界升华的电流与1安培之差的范围内，除气时间不低于24小时。采用这一工艺后可以使吸附于钛丝表面的气体及钛丝体内的气体充分放出，由涡轮分子泵机组排出真空系统外，从而使钛丝表面的气载降到最小，这样在泵进行正常工作时，即在钛丝升华后，可以使系统达到预期真空度。本发明最佳的钛丝除气电流为为额定钛丝升华电流的56％。
公开日期	2007-02-28
申请日期	2005-10-19
状态	撤回
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.186/handle/113462/60593]
专题	中国科学院近代物理研究所
作者单位	中国科学院近代物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	蒙峻,杨晓天,张军辉,等. 钛升华泵灯丝的除气工艺. CN1920302A. 2007-02-28.