力电多场鼓包法测定PZT铁电薄膜的横向压电系数

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	力电多场鼓包法测定PZT铁电薄膜的横向压电系数
	何元东 ; 孙长振 ; 毛卫国 ; 毛贻齐 ; 张宏龙 ; 陈彦飞 ; 裴永茂 ; 方岱宁
刊名	材料导报
	2017
关键词	横向压电系数鼓包测试力电耦合本构锆钛酸铅薄膜
英文摘要	为表征Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3(PZT)薄膜的横向压电性能,以纯力场鼓包测试模型和铁电薄膜材料压电方程为基础,推导了PZT铁电薄膜的力电耦合鼓包本构模型。采用溶胶-凝胶法制备了PZT铁电薄膜,并通过化学腐蚀法获得PZT薄膜鼓包样品。在外加电压为0~14V的条件下进行鼓包测试。结果表明,在纯力场作用下,PZT薄膜的弹性模量和残余应力分别为91.9GPa和36.2MPa;随着电压从2V变化到14V,PZT薄膜的横向压电系数d31从-28.9pm/V变化到-45.8pm/V。本工作所发展的力电耦合鼓包测试技术及力电耦合鼓包本构模型为评价铁电薄膜材料的横向压电性能提供了一种有效的分析方法。; 15; 139-144
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/464468]
专题	工学院
推荐引用方式 GB/T 7714	何元东,孙长振,毛卫国,等. 力电多场鼓包法测定PZT铁电薄膜的横向压电系数[J]. 材料导报,2017.
APA	何元东.,孙长振.,毛卫国.,毛贻齐.,张宏龙.,...&方岱宁.(2017).力电多场鼓包法测定PZT铁电薄膜的横向压电系数.材料导报.
MLA	何元东,et al."力电多场鼓包法测定PZT铁电薄膜的横向压电系数".材料导报 (2017).