激光电压探测及成像技术在失效分析中的应用

CORC > 北京大学 > 软件与微电子学院

	激光电压探测及成像技术在失效分析中的应用
	陈礼清 ; 赵瑞豪 ; 孙明圣 ; 林光启 ; 苏科 ; 胡启誉 ; 贾辉
刊名	半导体技术
	2016
关键词	激光电压探测成像技术时序逻辑电路失效分析标准单元
英文摘要	针对传统失效定位技术如光辐射显微镜(EMMI)、光束感生电阻变化(OBIRCH)和红外成像等无法追踪时序逻辑电路内部的传输信号、失效位置定位偏差大等问题,介绍了一种激光电压探测及成像的失效分析技术。首先对晶圆扫描分析系统及激光电压探测成像技术进行简要介绍,基于晶圆扫描分析系统应用激光电压探测及成像技术对标准单元中的时序逻辑电路进行失效分析。结果显示激光电压探测成像技术可以有效地对标准单元内部频率信号进行追踪和信号波形测量并成像,结合电路原理分析以及芯片版图可以精确定位失效点,并进一步对失效位置和失效原因进行物性失效分析,最终建立失效模式。; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科技核心期刊(ISTIC); 中国科学引文数据库(CSCD); 11; 875-880; 41
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/478629]
专题	软件与微电子学院
推荐引用方式 GB/T 7714	陈礼清,赵瑞豪,孙明圣,等. 激光电压探测及成像技术在失效分析中的应用[J]. 半导体技术,2016.
APA	陈礼清.,赵瑞豪.,孙明圣.,林光启.,苏科.,...&贾辉.(2016).激光电压探测及成像技术在失效分析中的应用.半导体技术.
MLA	陈礼清,et al."激光电压探测及成像技术在失效分析中的应用".半导体技术 (2016).