电子束斑的测量方法和设备 | |
刘鹏 ; 张大成 ; 王玮 ; 田大宇 ; 杨芳 ; 罗葵 ; 戴小涛 ; 李婷 ; 王颖 ; 李静 ; 时广轶 | |
2014 | |
英文摘要 | 本发明提出了一种电子束斑的测量方法和设备。所述测量方法包括:准备第一基片,在所述第一基片上形成悬置的光刻胶层,并且在第一基片与光刻胶层相对的另一侧上形成检测窗口;准备第二基片,在所述第二基片上形成背腔结构;将第二基片的背腔结构入口一侧与第一基片的光刻胶一侧固定,并且将检测窗口与背腔结构入口对准;将待测电子束以一定的路径角θ单次扫过检测窗口,对光刻胶层进行背向曝光,其中所述路径角是电子束扫描方向与检测窗口长度方向的夹角;以及对光刻胶进行显影,并且测量光刻胶沿扫描方向的图形长度L,利用下式计算电子束束斑直径d:d=L·tanθ-W/cosθ。; 0 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 其他 |
源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/187057] ![]() |
专题 | 软件与微电子学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘鹏,张大成,王玮,等. 电子束斑的测量方法和设备. 2014-01-01. |
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