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a-Si:H薄膜的表面缺陷研究
张光华 ; 晏继文
刊名太阳能学报
1994
关键词a-Si:H薄膜 缺陷 微结构 表面迁移 空间聚合
英文摘要该文讨论表面上由细微颗粒造成的各种缺陷,揭示这些缺陷的微结构形貌,对其形成的原因进行理论分析,并就如何消除这些缺陷,制备光洁如镜的a-Si:H薄膜进行讨论。; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科学引文数据库(CSCD); 3; 284; 15
语种中文
内容类型期刊论文
源URL[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/429913]  
专题信息科学技术学院
推荐引用方式
GB/T 7714
张光华,晏继文. a-Si:H薄膜的表面缺陷研究[J]. 太阳能学报,1994.
APA 张光华,&晏继文.(1994).a-Si:H薄膜的表面缺陷研究.太阳能学报.
MLA 张光华,et al."a-Si:H薄膜的表面缺陷研究".太阳能学报 (1994).
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