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纯钛基片化学机械抛光配方与工艺优化及其抛光机理研究
戴媛静 ; 裴惠芳 ; 潘国顺 ; 陈兢
2009
英文摘要0
语种中文
内容类型其他
源URL[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/332448]  
专题信息科学技术学院
推荐引用方式
GB/T 7714
戴媛静,裴惠芳,潘国顺,等. 纯钛基片化学机械抛光配方与工艺优化及其抛光机理研究. 2009-01-01.
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