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	一种水平轴微机械音叉陀螺
	郭中洋 ; 杨振川 ; 赵前程 ; 林龙涛 ; 刘雪松 ; 丁海涛 ; 崔健 ; 闫桂珍
	2010
英文摘要	本发明涉及一种水平轴微机械音叉陀螺,它包括衬底,衬底上,固定驱动梳与驱动电极为欧姆接触,且都与衬底固定连接；可动驱动梳的一侧通过驱动折叠梁连接框架,框架通过检测折叠梁连接固定在衬底上的锚点,另一侧固定连接敏感质量块；敏感质量块通过驱动折叠梁固定连接框架,框架通过检测折叠梁和锚点固定连接在衬底上；I型、II型固定垂直检测梳固定在衬底上,I型、II型可动垂直检测梳与框架固定连接,且检测电极与I型、II型固定垂直检测梳为欧姆接触,并固定在衬底上。本发明由于采用解耦式驱动电容的,因此有效地解决驱动模态和检测模态之间的机械耦合。本发明可以广泛应用于各种领域中物体转动角速度的检测中。; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/317315]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	郭中洋,杨振川,赵前程,等. 一种水平轴微机械音叉陀螺. 2010-01-01.

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