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	一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺
	郭中洋 ; 杨振川 ; 赵前程 ; 林龙涛 ; 刘雪松 ; 丁海涛 ; 崔健 ; 闫桂珍
	2010
英文摘要	本发明涉及一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺,它包括衬底、一组以上的驱动电容、两检测质量块、驱动折叠梁、框架、一组以上的检测电容、检测折叠梁和锚点；每组驱动电容的一侧与相邻的检测质量块连接,检测质量块通过驱动折叠梁固定连接框架,框架分别连接检测电容和检测折叠梁,检测折叠梁连接固定在衬底上的锚点；每组驱动电容的另一侧依次通过驱动折叠梁和框架连接到检测折叠梁,检测折叠梁连接固定在衬底上的锚点。本发明由于采用的驱动可动梳齿与驱动固定梳齿沿Z轴方向厚度相同、位置不同、且对称分布,因此实现了有效地抑制从检测模态到驱动模态的耦合,提高了陀螺的灵敏度和分辨率。本发明可以广泛应用于各种领域中物体...; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/317285]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	郭中洋,杨振川,赵前程,等. 一种采用静电平衡梳齿驱动器的水平轴微机械音叉陀螺. 2010-01-01.

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