对准键合精度检测装置 | |
张大成 ; 李婷 ; 王颖 ; 王兆江 ; 郝一龙 ; 王阳元 | |
2004 | |
英文摘要 | 本实用新型涉及一种对准键合精度检测装置,其特征在于它包括:一显微镜,一螺旋游标测量目镜,一CCD摄像机,一图像显示器,一红外光源,所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上,所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上,所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接,所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。本实用新型利用在近红外区硅片具有较好的红外通过能力,CCD摄像机对红外光具有较好的成像质量,以及螺旋游标测量目镜对键合误差具有较精确的测量效果等特点,将其与显微镜结合成一体,为微电子机械系统(MEMS)加工技术提供了一种有效的测量手段。它可以广泛用于各种硅MEMS器件加工工艺...; 0 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 其他 |
源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/317251] ![]() |
专题 | 信息科学技术学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张大成,李婷,王颖,等. 对准键合精度检测装置. 2004-01-01. |
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