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	对准键合精度检测系统
	张大成 ; 李婷 ; 王颖 ; 王兆江 ; 郝一龙 ; 王阳元
	2004
英文摘要	本发明涉及一种对准键合精度检测系统,其特征在于它包括：一显微镜,一螺旋游标测量目镜,一CCD摄像机,一图像显示器,一红外光源,所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上,所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上,所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接,所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。本发明利用在近红外区硅片具有较好的红外通过能力,CCD摄像机对红外光具有较好的成像质量,以及螺旋游标测量目镜对键合误差具有较精确的测量效果等特点,将其与显微镜结合成一体,为微电子机械系统(MEMS)加工技术提供了一种有效的测量手段。它可以广泛用于各种硅MEMS器件加工工艺过程的质...; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/317230]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	张大成,李婷,王颖,等. 对准键合精度检测系统. 2004-01-01.

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