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	一种高灵敏度谐振加速度计芯片
	贾玉斌 ; 郝一龙
	2005
英文摘要	一种高灵敏度谐振加速度计芯片,是一种重要的力学量传感器,在汽车、航空航天、地震检测、武器装备等领域都有广泛的应用。该芯片包括基片、质量块、音叉、力学放大系统、驱动电极及敏感电极。所述的质量块为回形,在其中心为两个平行音叉,每一音叉的中部两侧设有相互并列的梳状驱动电极和敏感电极。所述的力学放大系统由多极省力杠杆结构串联组成；所述的梳状驱动电极、敏感电极及基片均由引线与焊接电极连接。本发明的质量块的利用率达到100％,体积相对较小,可以使由加速度引起的惯性力进行高效率放大,结构稳定性好,有较大的抗冲击能力。材料不均匀和环境温度对器件影响较小。开拓了这类加速度计在高精度加速度计领域中的应用。; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/317211]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	贾玉斌,郝一龙. 一种高灵敏度谐振加速度计芯片. 2005-01-01.

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