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快速热退火形成硅化钛薄膜及TISI2/SI欧姆接触特性研究
张国炳 ; 陈立茹 ; 徐立
1991
关键词超大规模集成电路 退火 薄膜 欧姆接触 电阻 硅膜
英文摘要0
语种中文
内容类型其他
源URL[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/295657]  
专题信息科学技术学院
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GB/T 7714
张国炳,陈立茹,徐立. 快速热退火形成硅化钛薄膜及TISI2/SI欧姆接触特性研究. 1991-01-01.
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