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	平面工艺半导体Si探测器的研制
	谭继廉 ; 靳根明 ; 段利敏 ; 卢子伟 ; 袁小华 ; 田大宇 ; 宁宝俊 ; 王玮 ; 张录
	2007
关键词	平面工艺 半导体探测器 带电粒子 性能测试
英文摘要	叙述了用平面工艺研制用于核物理实验和空间带电粒子探测的半导体Si探测器的制备工艺、技术,并给出了性能测试及应用的部分结果.; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/283665]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	谭继廉,靳根明,段利敏,等. 平面工艺半导体Si探测器的研制. 2007-01-01.

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