MEMS动态测试技术

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	MEMS动态测试技术; MEMS Dynamic Testing Technique
	栗大超 ; 冯亚林 ; 傅星 ; 胡晓东 ; 靳世久 ; 郝一龙 ; 胡小唐
刊名	微纳电子技术
	2005
关键词	微机电系统动态测试频闪成像计算机视觉干涉测量激光多普勒
DOI	10.3969/j.issn.1671-4776.2005.04.009
英文摘要	阐述了基于频闪成像、计算机视觉和干涉测量的MEMS动态测试技术、基于激光多普勒测振的MEMS动态测试技术以及基于其他原理和方法的MEMS动态测试技术等的测试原理、测试方法与研究现状,指出了MEMS动态测试技术进一步的研究方向.; 国家高技术研究发展计划(863计划); 0; 4; 188-194; 42
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/272571]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	栗大超,冯亚林,傅星,等. MEMS动态测试技术, MEMS Dynamic Testing Technique[J]. 微纳电子技术,2005.
APA	栗大超.,冯亚林.,傅星.,胡晓东.,靳世久.,...&胡小唐.(2005).MEMS动态测试技术.微纳电子技术.
MLA	栗大超,et al."MEMS动态测试技术".微纳电子技术 (2005).