MEMS动态测试技术; MEMS Dynamic Testing Technique | |
栗大超 ; 冯亚林 ; 傅星 ; 胡晓东 ; 靳世久 ; 郝一龙 ; 胡小唐 | |
刊名 | 微纳电子技术
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2005 | |
关键词 | 微机电系统 动态测试 频闪成像 计算机视觉 干涉测量 激光多普勒 |
DOI | 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.04.009 |
英文摘要 | 阐述了基于频闪成像、计算机视觉和干涉测量的MEMS动态测试技术、基于激光多普勒测振的MEMS动态测试技术以及基于其他原理和方法的MEMS动态测试技术等的测试原理、测试方法与研究现状,指出了MEMS动态测试技术进一步的研究方向.; 国家高技术研究发展计划(863计划); 0; 4; 188-194; 42 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/272571] ![]() |
专题 | 信息科学技术学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 栗大超,冯亚林,傅星,等. MEMS动态测试技术, MEMS Dynamic Testing Technique[J]. 微纳电子技术,2005. |
APA | 栗大超.,冯亚林.,傅星.,胡晓东.,靳世久.,...&胡小唐.(2005).MEMS动态测试技术.微纳电子技术. |
MLA | 栗大超,et al."MEMS动态测试技术".微纳电子技术 (2005). |
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