微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析

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	微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析
	王立森 ; 胡宇群 ; 李志宏 ; 余同希 ; 赵亚溥
刊名	机械强度
	2001
关键词	微加速度计体硅加工工艺冲击载荷失效分析粘附
英文摘要	抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁结构的整体破坏和微结构在横向之间的粘附。应用拟静态和能量方法给出微结构在冲击载荷下的响应。; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科学引文数据库(CSCD); 0; 04; 516-522
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/253177]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	王立森,胡宇群,李志宏,等. 微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析[J]. 机械强度,2001.
APA	王立森,胡宇群,李志宏,余同希,&赵亚溥.(2001).微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析.机械强度.
MLA	王立森,et al."微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析".机械强度 (2001).