弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模

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	弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模
	赵江铭 ; 沈雪瑾 ; 张海霞 ; 陈晓阳
刊名	微纳电子技术
	2003
关键词	微静电谐振器弓型悬臂梁力学建模
英文摘要	根据梁的小变形理论 ,对双侧支承微静电谐振器的弓型悬臂梁进行了理论建模和受力分析研究。推导出其受力和变形计算公式 ,研究表明 ,此种谐振器是五次超静定问题 ;在支承长度和工况相同的情况下 ,它比直脚型悬臂梁谐和蟹脚型悬臂梁的谐振幅度大 ;谐振频率和刚度系数随着纵向支撑长度L、横向短梁长度l3的增加而减小 ,随着梁宽b的增加而增加。; 0; Z1; 22-26
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/208368]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	赵江铭,沈雪瑾,张海霞,等. 弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模[J]. 微纳电子技术,2003.
APA	赵江铭,沈雪瑾,张海霞,&陈晓阳.(2003).弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模.微纳电子技术.
MLA	赵江铭,et al."弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模".微纳电子技术 (2003).