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溶胶-凝胶法Er2O3薄膜的结构和光学特性; Structural and Photoluminescence Properties of Er2O3 Films by Sol-Gel Method
王兴军 ; 董斌 ; 周治平
刊名光子学报
2010
关键词发光学 光学薄膜 溶胶-凝胶法 氧化铒
DOI10.3788/gzxb20103907.1213
英文摘要针对稀土Er掺杂Si光源中Er离子掺杂浓度低的问题,采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法在Si(100)和SiO2/Si(100)基片上旋涂法制备Er2O3光学薄膜,Er离子浓度与以前掺杂方法相比提高了2个数量级.900 ℃热处理获得单一立方结构的Er2O3薄膜材料.光致发光(PL)特性研究表明在654 nm波长的激光泵浦下,Er2O3薄膜材料获得了1.535 μm的发光峰,并具有较小的温度猝灭1/5.在SiO2/Si(100)基体上制备的Er2O3薄膜材料的光致发光强度比Si(100)基体上制备的薄膜提高2-3倍.研究结果表明具有强光致发光特性的Er2O3薄膜是一种有前景的硅基光源和放大器材料.; 国家自然科学基金; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科技核心期刊(ISTIC); 中国科学引文数据库(CSCD); 0; 7; 1213-1215; 39
语种中文
内容类型期刊论文
源URL[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/186596]  
专题信息科学技术学院
推荐引用方式
GB/T 7714
王兴军,董斌,周治平. 溶胶-凝胶法Er2O3薄膜的结构和光学特性, Structural and Photoluminescence Properties of Er2O3 Films by Sol-Gel Method[J]. 光子学报,2010.
APA 王兴军,董斌,&周治平.(2010).溶胶-凝胶法Er2O3薄膜的结构和光学特性.光子学报.
MLA 王兴军,et al."溶胶-凝胶法Er2O3薄膜的结构和光学特性".光子学报 (2010).
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