半导体器件参数比例差值谱分析系统 | |
谭长华 ; 许铭真 ; 杨斌 ; 马金源 | |
2004 | |
关键词 | 半导体器件 比例差值算符 薄膜材料 质量控制 材料评估 |
英文摘要 | 该系统运用一种新的数据处理运算概念,即比例差值算符,揭示了元器件的另一种本征特性-比例差值特性.提供的统一用户接口便于用户实现监测、快速数据采集和分析一体化.该系统适用于薄膜材料缺陷分析和多类半导体器件如二极管、三极管、场效应管、光电器件,以化合物半导体GaAs、InP、GaN等为材料的半导体器件,HEMT、SOI器件、导质结器件、晶片、IC等直流参数测量分析.主要应用于集成电路的计算机辅助设计(CAD),新元件的评价,材料评估,电路设计的元件选择,半导体生产的过程控制、质量控制及品质保证.; 0 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 其他 |
源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/186425] ![]() |
专题 | 信息科学技术学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭长华,许铭真,杨斌,等. 半导体器件参数比例差值谱分析系统. 2004-01-01. |
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