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	半导体器件参数比例差值谱分析系统
	谭长华 ; 许铭真 ; 杨斌 ; 马金源
	2004
关键词	半导体器件 比例差值算符 薄膜材料 质量控制 材料评估
英文摘要	该系统运用一种新的数据处理运算概念,即比例差值算符,揭示了元器件的另一种本征特性-比例差值特性.提供的统一用户接口便于用户实现监测、快速数据采集和分析一体化.该系统适用于薄膜材料缺陷分析和多类半导体器件如二极管、三极管、场效应管、光电器件,以化合物半导体GaAs、InP、GaN等为材料的半导体器件,HEMT、SOI器件、导质结器件、晶片、IC等直流参数测量分析.主要应用于集成电路的计算机辅助设计(CAD),新元件的评价,材料评估,电路设计的元件选择,半导体生产的过程控制、质量控制及品质保证.; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/186425]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	谭长华,许铭真,杨斌,等. 半导体器件参数比例差值谱分析系统. 2004-01-01.

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