大流量压阻式流量传感器的研制 | |
王小保 ; 钱劲 ; 张大成 | |
2003 | |
关键词 | 流量传感器 微机械加工 压敏电阻 流体力学 差压原理 气体流量 |
英文摘要 | 根据流体力学差压原理,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器.测试结果表明,该传感器具有测量0.1~10L/min的气体流量的能力.; 0 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 其他 |
源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/185787] ![]() |
专题 | 信息科学技术学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王小保,钱劲,张大成. 大流量压阻式流量传感器的研制. 2003-01-01. |
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