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大流量压阻式流量传感器的研制
王小保 ; 钱劲 ; 张大成
2003
关键词流量传感器 微机械加工 压敏电阻 流体力学 差压原理 气体流量
英文摘要根据流体力学差压原理,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器.测试结果表明,该传感器具有测量0.1~10L/min的气体流量的能力.; 0
语种中文
内容类型其他
源URL[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/185787]  
专题信息科学技术学院
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GB/T 7714
王小保,钱劲,张大成. 大流量压阻式流量传感器的研制. 2003-01-01.
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