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电子器件制造业面临新的挑战
许铭真
刊名国际学术动态
1998
关键词量子电子学 化合物半导体 可靠性设计 可靠性预测 华盛顿市 美国首都 栅介质 薄栅氧化层 热载流子 器件模拟
英文摘要1997年国际电子器件会议(简称IEDM'97)于1997年12月7~10日在美国首都华盛顿市举行,参加会议的有各国代表2000余人。从特邀讲演的主题和来自美、欧、亚三大洲的主要研究中心的论文内容来看,国际电子器件制造业正面临着许多新的挑战。会上共宣读了215篇论文,其中属于CMOS器件方面的共121篇,占总论文数的1/2以上。其他(包括模型、模拟、量子电子学及化合物半导体、探测器、传感器、显示器、固体器件)有94篇。此次会议有两个重要特点:第一,2千多位代表中,从事CMOS器件与电路可靠性(包括可靠性设计,工艺、可靠性表征技术,可靠性预测等)的研究工作的有1千人以上;第二,在量子电子...; 0; 06; 30-42
语种中文
内容类型期刊论文
源URL[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/183201]  
专题信息科学技术学院
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GB/T 7714
许铭真. 电子器件制造业面临新的挑战[J]. 国际学术动态,1998.
APA 许铭真.(1998).电子器件制造业面临新的挑战.国际学术动态.
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