物理学研究与微电子科学技术的发展

doi:10.3321/j.issn:0379-4148.2002.07.003

CORC > 北京大学 > 信息科学技术学院

	物理学研究与微电子科学技术的发展; PHYSICS RESEARCH AND THE DEVELOPMENT OF MICROELECTRONICS
	王阳元 ; 康晋锋
刊名	物理
	2002
关键词	微电子学集成电路摩尔定律物理限制
DOI	10.3321/j.issn:0379-4148.2002.07.003
英文摘要	回顾了微电子学的诞生和微电子技术的发展历史,展望了微电子技术未来的发展趋势.在微电子技术诞生和发展过程中具有一些里程碑式的发明,如晶体管、集成电路、集成电路平面工艺、MOS器件、微处理器、光刻技术、铜互连工艺的发明等,其中物理学研究和突破起了关键的基础作用.在社会需求、物理学研究和技术进步的推动下,微电子技术一直并将继续以特征尺寸缩小、集成度提高的模式,按摩尔定律预测的指数增长率发展.微电子技术的发展,不仅为物理学的研究提供了崭新的技术基础,而且为物理学研究展现了更为广阔的空间.但随着器件特征尺寸逐渐缩小并逼近其物理极限,微电子技术的发展将受到来自于材料、工艺和物理基础等方面的挑战,并呈现出多维发展的趋势,这些挑战涉及了微电子学与物理学的共同理论基础,需要二者互相锲合,期待新的突破.; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科学引文数据库(CSCD); 0; 7; 415-421; 31
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/174954]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	王阳元,康晋锋. 物理学研究与微电子科学技术的发展, PHYSICS RESEARCH AND THE DEVELOPMENT OF MICROELECTRONICS[J]. 物理,2002.
APA	王阳元,&康晋锋.(2002).物理学研究与微电子科学技术的发展.物理.
MLA	王阳元,et al."物理学研究与微电子科学技术的发展".物理 (2002).