大流量压阻式流量传感器的研制

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	大流量压阻式流量传感器的研制; Research on a piezoresistive mass flow sensor
	王小保 ; 钱劲 ; 张大成
刊名	微纳电子技术
	2003
关键词	差压流量传感器微机械加工压敏电阻
DOI	10.3969/j.issn.1671-4776.2003.07.133
英文摘要	根据流体力学差压原理,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器.测试结果表明,该传感器具有测量0.1～10L/min的气体流量的能力.; 国家重点基础研究发展计划(973计划); 0; 7; 449-451; 40
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/172508]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	王小保,钱劲,张大成. 大流量压阻式流量传感器的研制, Research on a piezoresistive mass flow sensor[J]. 微纳电子技术,2003.
APA	王小保,钱劲,&张大成.(2003).大流量压阻式流量传感器的研制.微纳电子技术.
MLA	王小保,et al."大流量压阻式流量传感器的研制".微纳电子技术 (2003).