氩对硅烷等离子体的稀释效应

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	氩对硅烷等离子体的稀释效应
	晏继文 ; 张光华 ; 冯意炯 ; 奚中和
刊名	真空科学与技术
	1994
关键词	光发射谱激光诱导荧光输运因子
英文摘要	本文提出了等离子体光发射谱（OES）输运因子（Tp）的概念。测量和分析了不同稀释度下硅烷等离子体OES的空间分布特性，包括其峰值（Im）和输运因子的变化规律，以寻求高速沉积的途径。检测了掺杂了硅烷的氩气的OES，以讨论硅烷等离子体中氩稀释的物理效应。在有关物理问题的讨论中，把OES和激光诱导荧光（LIF）谱的两种结果结合起来，更有助于对问题的深入理解。; 0; 01; 1-5
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/149320]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	晏继文,张光华,冯意炯,等. 氩对硅烷等离子体的稀释效应[J]. 真空科学与技术,1994.
APA	晏继文,张光华,冯意炯,&奚中和.(1994).氩对硅烷等离子体的稀释效应.真空科学与技术.
MLA	晏继文,et al."氩对硅烷等离子体的稀释效应".真空科学与技术 (1994).