| 用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统 | |
| 高鸿钧 ; 刘惟敏 ; 赵兴珏 ; 于洪滨 ; 薛增泉 ; 肖桂里 | |
| 刊名 | 真空科学与技术
 |
| 1993 | |
| 关键词 | 离子团束 飞行时间质谱计 金属超微粒子 聚乙烯薄膜 |
| 英文摘要 | 本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS部分的分辨本领和灵敏度进行了测试:选定质荷比为149的谱峰,得到该质谱计的分辨本领为165;该质谱计对Ar~(40)的最小可检分压强为4.0×10~(-6)Pa。本文也给出了ICB沉积聚乙烯薄膜的飞行时间质谱及其初步分析。; 0; 03; 204-210 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/87665]  |
| 专题 | 信息科学技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高鸿钧,刘惟敏,赵兴珏,等. 用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统[J]. 真空科学与技术,1993. |
| APA | 高鸿钧,刘惟敏,赵兴珏,于洪滨,薛增泉,&肖桂里.(1993).用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统.真空科学与技术. |
| MLA | 高鸿钧,et al."用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统".真空科学与技术 (1993). |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论