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	一种新型的金属剥离技术研究
	闫桂珍 ; 张大成 ; 李婷 ; 王颖
	2001
关键词	光刻 金属剥离 微机械电子系统
英文摘要	提出了一种用于MEMS工艺的DRT金属剥离新技术.采用双层普通正性光刻胶,两次曝光,再用甲苯处理,使光刻胶断面上宽下窄,表面呈倒角悬垂.淀积金属后,用丙酮作剥离液,不需要加速超声波振动,很容易地完成金属剥离.; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/24150]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	闫桂珍,张大成,李婷,等. 一种新型的金属剥离技术研究. 2001-01-01.

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