一种新型的金属剥离技术研究 | |
闫桂珍 ; 张大成 ; 李婷 ; 王颖 | |
2001 | |
关键词 | 光刻 金属剥离 微机械电子系统 |
英文摘要 | 提出了一种用于MEMS工艺的DRT金属剥离新技术.采用双层普通正性光刻胶,两次曝光,再用甲苯处理,使光刻胶断面上宽下窄,表面呈倒角悬垂.淀积金属后,用丙酮作剥离液,不需要加速超声波振动,很容易地完成金属剥离.; 0 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 其他 |
源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/24150] ![]() |
专题 | 信息科学技术学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 闫桂珍,张大成,李婷,等. 一种新型的金属剥离技术研究. 2001-01-01. |
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