时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构

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	时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构; A Novel Self-Test Structure for Time-Divided Closed-Loop MEMS Capacitive Accelerometer
	黄靖清 ; 张婷婷 ; 赵猛 ; 伍峰 ; 陈中建 ; 洪理琛 ; 张雅聪 ; 鲁文高 ; 郝一龙
刊名	纳米技术与精密工程
	2013
关键词	加速度计自检测闭环微机电系统 accelerometer self-test closed-loop micro electro mechanical systems
英文摘要	设计了一种针对闭环加速度计的新型自检测结构.详细描述了这种基于电荷注入的自检测功能的原理.针对时分反馈闭环加速度计,从理论上推导了加速度计输出与自检测电压之间的关系,并利用Matlab/Simulink模型进行了验证.基于0.35 μm高压CMOS工艺,设计了整个读出电路.测试结果显示,在自检测模式下,输出对自检测电压的灵敏度是0.3 V/V.; 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目; The project is supported by the National High-Tech Research and Development Program of China; 中国科技核心期刊(ISTIC); 中国科学引文数据库(CSCD); 0; 5; 418-423; 11
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/24115]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	黄靖清,张婷婷,赵猛,等. 时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构, A Novel Self-Test Structure for Time-Divided Closed-Loop MEMS Capacitive Accelerometer[J]. 纳米技术与精密工程,2013.
APA	黄靖清.,张婷婷.,赵猛.,伍峰.,陈中建.,...&郝一龙.(2013).时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构.纳米技术与精密工程.
MLA	黄靖清,et al."时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构".纳米技术与精密工程 (2013).