| 下一代新型半导体器件及工艺基础研究 | |
| 张兴 | |
| 刊名 | 中国集成电路
 |
| 2003 | |
| 关键词 | 半导体器件 微电子产业 人类社会生产 工艺基础 信息产业 科学技术史 短沟效应 中芯国际 栅长 降低成本 |
| 英文摘要 | 引言微电子技术无论是从其发展速度和对人类社会生产、生活的影响,都可以说是科学技术史上空前的,微电子技术已经成为整个信息产业的基础和核心。自1958年集成电路发明以来,为了提高电子集成系统的性能,降低成本,集成电路的特征尺寸不; 0; 03; 44-47 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/23825]  |
| 专题 | 信息科学技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张兴. 下一代新型半导体器件及工艺基础研究[J]. 中国集成电路,2003. |
| APA | 张兴.(2003).下一代新型半导体器件及工艺基础研究.中国集成电路. |
| MLA | 张兴."下一代新型半导体器件及工艺基础研究".中国集成电路 (2003). |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论