DL-10A型石英真空计

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	DL-10A型石英真空计; The DL-10A quartz vacuum gauge
	王逊 ; 张云峰 ; 唐镇松
刊名	真空
	2014
关键词	石英真空计石英晶振谐振阻抗 quartz vacuum gauge quartz crystal resonance impedance
英文摘要	DL-10A型石英真空计,测量范围为5×10-1～105 Pa.石英真空计的特点是传感器的体积小,这样该真空计除与其它真空计一样测量气体压强外,它能测量小体积,例如1 cm3大小的密封器件的气体压强,并能检测真空的保持状态.; SCI(E); 中国科技核心期刊(ISTIC); 0
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/22587]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	王逊,张云峰,唐镇松. DL-10A型石英真空计, The DL-10A quartz vacuum gauge[J]. 真空,2014.
APA	王逊,张云峰,&唐镇松.(2014).DL-10A型石英真空计.真空.
MLA	王逊,et al."DL-10A型石英真空计".真空 (2014).