| 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法; 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法; 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法; 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法 | |
| 冯小明 ; 赵懿昊 ; 祁琼 ; 刘素平 ; 马骁宇 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN200910241547.X |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 中文摘要 | 一种光纤侧圆柱面镀膜旋转装置，包括：一平圆盘，该平圆盘的中心固定一中心轴；一公转件，该公转件为一筒状，套置于平圆盘的中心轴上，该公转件靠近平圆盘的一端横置有多个水平支杆，所述水平支杆的端部枢接有自转件，该自转件与平圆盘的表面摩擦接触；上述部件置于一镀膜室中，在镀膜室中还放置有坩锅，其中每个自转件与待镀光纤连接，当所述公转件转动时带动与平圆盘表面摩擦接触的自转件转动。 |
| 公开日期 | 2011-08-30 ; 2011-08-30 ; 2011-08-30 |
| 申请日期 | 2009-11-25 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200910241547.X |
| 专利代理 | 汤保平 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22103]  |
| 专题 | 半导体研究所_光电子器件国家工程中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯小明,赵懿昊,祁琼,等. 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法, 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法, 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法, 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法. CN200910241547.X. |
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