栅极调制正装结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法; 栅极调制正装结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法 | |
刘志强 ; 郭恩卿 ; 伊晓燕 ; 汪炼成 ; 王国宏 ; 李晋闽 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN201010534622.4 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
中文摘要 | 一种栅极调制正装结构GaN基发光二极管结构,包括:一蓝宝石衬底;一n型GaN层,该n型GaN层制作在蓝宝石衬底上,该n型GaN层上面的一侧形成有一台面,该台面的深度小于n型GaN层的厚度;一多量子阱有源层,该多量子阱有源层制作在n型GaN层上面没有台面的另一侧上;一p型GaN层,该p型GaN层制作在多量子阱有源层上;一P电极,该p电极制作在p型GaN层上面远离台面的一侧;一N电极,该N电极制作在n型GaN层上面的台面上;一栅极绝缘层,该栅极绝缘层制作在p型GaN层上面没有P电极的另一侧;一栅电极,该电极制作在栅极绝缘层上。 |
公开日期 | 2011-08-31 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN201010534622.4 |
专利代理 | 汤保平 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22121] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘志强,郭恩卿,伊晓燕,等. 栅极调制正装结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法, 栅极调制正装结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法. CN201010534622.4. |
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