一种具有绝热缓冲层结构的热敏薄膜制备方法

	一种具有绝热缓冲层结构的热敏薄膜制备方法
	孔雯雯; 王倩; 常爱民; 姚金城
	2018-09-18
著作权人	中国科学院新疆理化技术研究所
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种具有绝热缓冲层结构的热敏薄膜的制备方法，该方法首先在硅衬底表面制备绝热缓冲层；然后再绝热缓冲层表面制备二氧化硅绝缘层；最后在二氧化硅绝缘层表面制备热敏薄膜，即得到具有绝热缓冲层结构的热敏薄膜。其中所述的绝热缓冲层是在硅片表面生长硅柱、硅球或硅棒，从而形成具有不同结构特点的多孔硅基结构，利用孔隙内部储存的空气，实现热敏薄膜与硅衬底之间热绝缘的作用，使得热敏薄膜整体热容量和热耗散减小，加快热敏电阻的响应时间，可被研制成具有快响应特点的微型热敏电阻器，非常适用于快响应温度监测领域。
申请日期	2018-04-19
内容类型	专利
源URL	[http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/6351]
专题	新疆理化技术研究所_材料物理与化学研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	孔雯雯,王倩,常爱民,等. 一种具有绝热缓冲层结构的热敏薄膜制备方法. 2018-09-18.