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	一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法; 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法
	徐刚 ; 何云富 ; 黄春明 ; 安赟 ; 王福同
	2008-11-05
专利国别	中国
专利类型	发明
权利人	中国科学院广州能源研究所
中文摘要	本发明利用晶体异质外延生长原理，在不损二氧化钒薄膜质量(热色性)的前提下，为 二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的沉积提供一种低温制备方法。以玻璃为衬底，依次包括如下步 骤：1)玻璃衬底清洗与处理；2)在玻璃衬底上，先沉积一层二氧化硅扩散阻隔层；3)在二 氧化硅扩散阻隔层上面再沉积一层氧化锌籽晶层；4)最后再在氧化锌籽晶层上面沉积二氧化 钒热色薄膜层。本发明采用的氧化锌籽晶层结晶温度低、晶格常数与二氧化钒能很好匹配， 特别适合二氧化钒薄膜的异质外延生长，从而可有效降低二氧化钒薄膜的沉积温度，简化二 氧化钒智能玻璃的
公开日期	2008-09-17 ; 2011-07-13
申请日期	2008-04-07
语种	中文
专利申请号	200810027270.6
专利代理	莫瑶江:广州华进联合专利商标代理有限公司
内容类型	专利
源URL	[http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/5306]
专题	中国科学院广州能源研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	徐刚,何云富,黄春明,等. 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法, 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法. 2008-11-05.

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