一种曲面棱镜非接触检测方法及装置

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	一种曲面棱镜非接触检测方法及装置
	李立波; 赵强; 孙丽军; 武俊强; 付西红
	2018-10-11
著作权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
专利号	CN201811183471.5
国家	中国
文献子类	发明专利
产权排序	1
英文摘要	本发明涉及光学检测技术领域，针对现有曲面棱镜的接触检测方法容易损伤棱镜光学表面、测试精度低；非接触检测方法测试光路复杂，无法实现定量检测等问题，提供一种曲面棱镜非接触检测方法及装置。其中，检测方法包括以下步骤：1)自准直显微镜与球面干涉仪对准；2)将待测曲面棱镜放置于自准直显微镜和球面干涉仪之间，使待测曲面棱镜的凸面位于球面干涉仪前；3)用球面干涉仪检测待测曲面棱镜凸面，调整待测曲面棱镜，实现待测曲面棱镜的凸面与球面干涉仪光束自准；然后，用自准直显微镜检测待测曲面棱镜凹面，移动自准直显微镜，实现自准直显微镜与待测曲面棱镜的凹面自准；则自准直显微镜的相对移动量即为待测曲面棱镜球心距离。
公开日期	2019-03-22
申请日期	2018-10-11
语种	中文
状态	申请中
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31770]
专题	西安光学精密机械研究所_光学影像学习与分析中心
作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	李立波,赵强,孙丽军,等. 一种曲面棱镜非接触检测方法及装置. CN201811183471.5. 2018-10-11.