| 题名 | 基于溅射AlN模板的深紫外LED制备技术的研究 |
| 作者 | 赵璐 |
| 答辩日期 | 2018-05-17 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 张韵 |
| 关键词 | 溅射aln+algan基深紫外led+大规模生产+低成本 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 半导体材料 ; 半导体器件 ; 光电子学 |
| 公开日期 | 2018-05-24 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28337]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵璐. 基于溅射AlN模板的深紫外LED制备技术的研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2018. |
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